工業(yè)有機廢氣治理文獻

本文通過對半導(dǎo)體工業(yè)的有機廢氣凈化工藝及設(shè)備的分析，總結(jié)了各種凈化工藝特點和應(yīng)用的范圍。在擴建工程中選擇了合理的凈化工藝及設(shè)備。經(jīng)過一年的生產(chǎn)驗證，有機廢氣達到，與現(xiàn)有廢氣處理設(shè)備相比，節(jié)省了、降了運行，效果明顯。詞：有機廢氣；碳吸附；

有機廢氣凈化工藝及設(shè)備的比較目前應(yīng)用較廣泛的有機廢氣凈化工藝有活性炭吸附法、熱破壞法、生物膜法等。

可回收的有機物種類烴類苯、甲苯、二甲苯、苯、正已烷、庚烷、石腦油、烴類苯、甲苯、二甲苯、苯、正已烷、庚烷、石腦油、已烷等。鹵烴三氯乙烯、全氯乙烯、三氯乙烷、二氯甲烷、三氯苯、三氯甲烷、四氯化碳等。酮類丙酮、丁酮MEK、甲基異丁酮、已酮等。酯類  乙酸丁酯 等 醚類 二氧雜己酯類乙酸丁酯、油酸等。醚類二氧雜己烷、（四氫呋喃）、糠醛等。醇類甲醇、乙醇、異丙醇、丁醇等。醇類甲醇、乙醇、異丙醇、丁醇等。聚合用單體氯乙烯、丙烯酸、丙烯酸酯、苯乙烯、醋酸乙烯等。

（二）、吸附﹑脫附行程短，速度快；脫附﹑再生耗能。ACF對有機氣體吸附量比顆粒狀活性炭（GAC）大幾倍幾十倍，對無機氣體也有好的吸附能力，并能保持較的吸附脫附速度和較長的使用壽命。如用 水蒸氣加熱6-10分鐘，即可脫附，耐熱性能好，在惰性氣體中耐溫1000℃以上，在空氣中著火點達500℃以上。 （三）、形狀可變，使用方便。由于活性碳纖維可以做成氈式，所以換起來非常方便，不會對體造成危害。 （四）、可根據(jù)需要生產(chǎn)出具有性能的ACF；強度好，不會造成二次污染。